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干式真空泵的介绍
作者:肯富来    发布于:2019-08-15 14:05:52    文字:【】【】【
摘要:市场上有许多干式真空泵的制造商。在选择制造商之前,我们应该知道这种泵的作用是什么。

  市场上有许多干式真空泵的制造商。在选择制造商之前,我们应该知道这种泵的作用是什么。干式真空泵是一种机械式真空泵,可以在大气压下开始泵送,并将泵送的气体直接排放到大气中。泵室内无油或其它工作介质,泵的极限压力与油封真空泵相同或接近。主要有干式螺杆真空泵、无油往复真空泵、爪形真空泵和无油涡旋真空泵,应用广泛。

  1、化学工业、制药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、消泡、包装等,应防止有机溶剂污染,适用于干式真空泵。

  2、除半导体技术外,一些产生颗粒物的工艺不希望颗粒物混入泵油中,但希望颗粒物从泵中排出。某型干式真空泵能满足要求。

  3、干式真空泵可作为普通无油洁净真空系统的前泵,防止油污染。

  4、半导体蚀刻工艺。腐蚀性气体和磨粒通常用于或在这些过程中产生。

  5、多晶硅在低压化学气相沉积中的应用。

  随着科学技术的发展,真空泵生产企业的技术也在不断提高,受反应物影响较小,稳定性好。选择一个好的厂家购买,质量更有保障。

脚注信息
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